Mem’s Type

8” 1-TD MEMS PROBE CARD

MEMS PROBE CARD Interface Pin Decoupling Capacitors PCB Space Transformer Micro Probes Planarization Mechanism * Space Transformer (MPH=Micro Probe Head) 가. 좁은 공간에서 넓은 공간으로 electrical path 공간 변환 나. 프로브를 통하여 전원 및 신호를 PCB로 상호 전달 다. 뛰어난 기계적 강도 및 내화학성 요구

E. PR Stripping & Removing Seed Layer MEMS PROBE 주요 공정도 A. Oxidation B. ICP RIE & KOH D. Electroplating E. PR Stripping & Removing Seed Layer C. Seed Layer & Thick PR F. Solder Paste H. Si Removal & Cleaning G. Bonding Wafer 공정 Space Transformer 공정

MEMS PROBE & TIP Micro Probe Array Micro Tip SEM 사진

Cantilever Type

제품 사진 LDI 제품 사진 Logic 제품 사진

Needle 확대 사진