潔淨室高效過濾器 現場檢漏方法的實驗研究

背景 製程環境潔淨度 HEPA 性能及施工品質 驗證單位

提要 濾網檢測洩漏誤判 測洩漏方法的介紹 理論分析及實驗，提出適當檢漏方法

檢漏方法 微粒計數器 掃瞄對象為濾網斷面、框架 採樣口放置於濾網下方 2~3cm 處，以 2cm/s 移動 若有洩漏處則檢測微粒數會偏高

理論分析 弱射流 根據文獻指出 HEPA 之湍流系 數約為 ，故一般送風口 之射流擴散角 θ 約為 12.6 度 此時於框架外緣很有可能有較 高之濃度，若依此判定洩漏並 不合理 α: 經驗湍流係數 θ: 射流擴散角

水平檔板 抑制捲入氣流 流線 1 氣流可能造成邊框誤判 但擋板大小、距離仍待確認

豎直圍擋 濾網氣流與環境氣流分隔 氣流死角需要稀釋 H: 圍檔高度 L: 濾網與邊框寬度 a: 濾網邊框與邊框距離 b: 濾網邊框寬度 θ: 弱射角度

測試孔 採樣微粒數高，表示洩漏 通過測試孔流量銳減，高 污染氣流也銳減 污染氣流稀釋有誤判可能

豎直擋板實驗研究 條件 送風靜壓箱 :53cm*53cm 濾網斷面 :48.4cm*48.4cm*22cm 濾網邊框與邊框距離 a:2.3cm 濾網邊框寬度 b:1.8cm 弱射角度 θ:10 潔淨室等級 :30 萬 濾網平均風速 :0.5m/s 採樣流量 :2.83L/min 送風含塵濃度 :0#/L

水平擋板實驗研究 使用水平擋板，其結果為 0#/L 爲比對水平 & 垂直間的差異，旁通釋放污染物 污染程度隨擋板尺寸變大而降低；隨風速提高而 降低；隨濾網與擋板間距離減少而降低 水平擋板豎直擋板 測試孔 無漏點 有漏點 濃度稀釋 誤判安全可靠 誤判

結論 檢漏測試宜使用豎直檔板，避免捲入氣流影響 可考慮將乾淨空氣送至濾網與邊框間，排除滯 留空氣，以提高清淨度與節省時間 使用水平擋板仍有很多問題待解決 使用測試孔測試非常不可取

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