高解析度場發射掃描電子顯微鏡暨能量散佈分析儀

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高解析度場發射掃描電子顯微鏡暨能量散佈分析儀國立交通大學奈米中心實驗室高解析度場發射掃描電子顯微鏡暨能量散佈分析儀 Scanning Electron Microscope (S-4700I) 儀器專家︰顏順通老師技術員：陳聯珠小姐

儀器名稱中文名稱：高解析度場發射掃描式電子顯微鏡暨能量散佈分析儀英文名稱： High-Resolution Scanning Electron Microscope & Energy Dispersive Spectrometer 英文簡稱： SEM & EDS 國立交通大學奈米中心陳悅婷

儀器廠牌、型號及儀器購置年限廠牌：Hitachi 型號：S-4700I 儀器購置年限：民國88年5月1日國立交通大學奈米中心陳悅婷

服務項目電子顯微鏡觀察（SEM）：高倍率放大觀察元件、薄膜等微細結構或剖面結構。表面能階分析（EDS）：特定位置表面材料成分電子能階光譜分析，用以判斷表面材料或污染的組成。國立交通大學奈米中心陳悅婷

重要規格電子源：冷陰極電子槍操作電壓：0.5kV~30kV 試片尺寸：25mm diameter x 25mm(t) 解析度：1.5nm (at 15kV) or 2.5nm (at 1kV) 放大倍率50萬倍（依試片本身而定）二次電子解析度1.5nm(15kV下) EDS可提供全能譜定性分析（B5~U92）、定量分析及元素分佈圖國立交通大學奈米中心陳悅婷

掃瞄式電子顯微鏡原理 (SEM Scanning Electron Microscope) 儀器設備部分介紹以產生電子來源的電子槍，改變電子行進方向的電磁透鏡，與光學聚焦系統為主。原理部分將只簡單的描述電子束行進的電子路徑，和電子與物質之交互作用。此外，我們也簡易的探討為何需要以真空為操作環境，及顯示部分樣品室內部的構造。 PS.請點選有底線部份，可連結至相關網頁。國立交通大學奈米中心陳悅婷

真空系統 SEM的真空非常重要，好的真空條件才能有清楚的影像。本機台由以下Pump維持真空：電子腔及磁透鏡部份:配置3組Ion Pump；試片腔体室(S.C.-Specimen Chamber): 配置Diffusion pump，並由一組Rotary Pump粗抽；Diffusion pump 由泠卻循環水冷卻。小腔体(S.E.C.- Specimen Exchange Chamber): 配置一組Rotary Pump。國立交通大學奈米中心陳悅婷

操作方式操作方式：SEM簡易操作步驟 ( 請點選) 國立交通大學奈米中心陳悅婷

操作要訣試片導電性要佳：試片導電性一定要好，secondary detector才detect 的到。很多試片導電性不好，它是可以鍍Pt或Au的。但往往Pt鍍的太薄，影像不清楚(因導電性不佳);鍍太厚，會蓋住原想看的pattern。導電較差的材質，如矽或二氧化矽等等材料會charge up的話，可在sample鍍金之後，把導電碳膠帶直接貼在正面，把電子引到基座去，只留一個小slit來照SEM。國立交通大學奈米中心陳悅婷

操作要訣避免振動：若要看高倍，試片一定要貼牢、stage要鎖緊，試情況決定是否按下 stage lock按鈕，可減低外在環境因素造成的晃動。 (但按下Stage lock鈕後，就不可以調整Tilt鈕了。) 國立交通大學奈米中心陳悅婷

操作要訣真空：真空一定要好。加速電壓 : 耐打的sample可用高電壓打，可以看的更清楚；不耐打的sample只能用低電壓，不然會charge；甚至傷了試片也可能打出髒東西影響真空(視試片材質而定)。小心、細心、耐心國立交通大學奈米中心陳悅婷

SEM拍攝照片--由技術員陳悅婷拍攝放大1萬倍的金粒子放大倍率每1小格=500奈米國立交通大學奈米中心陳悅婷

SEM拍攝照片--由技術員陳悅婷拍攝放大15萬倍的金粒子已可見其表面放大倍率每1小格=30奈米國立交通大學奈米中心陳悅婷

SEM拍攝照片--由技術員陳悅婷拍攝放大25萬倍的金粒子立體感放大倍率每1小格=20奈米國立交通大學奈米中心陳悅婷

SEM拍攝照片--由技術員陳悅婷拍攝放大30萬倍的金粒子表面及立體感放大倍率每1小格=10奈米國立交通大學奈米中心陳悅婷

SEM拍攝照片--由技術員陳悅婷拍攝放大40萬倍的金粒子彼此間相連的立體感放大倍率每1小格=10奈米國立交通大學奈米中心陳悅婷

SEM拍攝照片--由技術員陳悅婷拍攝放大45萬倍金粒子表面及藕斷絲連感放大倍率每1小格=10奈米國立交通大學奈米中心陳悅婷

SEM拍攝照片--由技術員陳悅婷拍攝放大50萬倍的金粒子表面及立體感每1小格=10奈米放大倍率國立交通大學奈米中心陳悅婷

以下是由技術員協助各個不同研究領域的學生們所拍攝的部份照片。 SEM拍攝照片--由學生拍攝以下是由技術員協助各個不同研究領域的學生們所拍攝的部份照片。藉由SEM設備，我們可以看到這麼“細微” 且 “精彩” 的照片，也可以借此彼此交流一下! 國立交通大學奈米中心陳悅婷

SEM拍攝照片--由學生拍攝交大鄭晃忠實驗室_奈米碳管國立交通大學奈米中心陳悅婷

SEM拍攝照片--由學生拍攝交大曾俊元實驗室_ZnO奈米線國立交通大學奈米中心陳悅婷

SEM拍攝照片--由學生拍攝交大崔秉鉞實驗室_MOSFET元件圖國立交通大學奈米中心陳悅婷

SEM拍攝照片--由學生拍攝交大邱碧秀實驗室_超高介電常數材料國立交通大學奈米中心陳悅婷

SEM拍攝照片--由學生拍攝交大鄭裕庭實驗室_高頻元件_奈米材料國立交通大學奈米中心陳悅婷

交大張翼實驗室_高速 Device Fabrication SEM拍攝照片--由學生拍攝交大張翼實驗室_高速 Device Fabrication 國立交通大學奈米中心陳悅婷

SEM拍攝照片--由學生拍攝交大生科_SiO2奈米粒子固定基材國立交通大學奈米中心陳悅婷

交大張豐志實驗室_polymer micelles SEM拍攝照片--由學生拍攝交大張豐志實驗室_polymer micelles 國立交通大學奈米中心陳悅婷

SEM拍攝照片--由學生拍攝交大裘性天實驗室_奈米碳管國立交通大學奈米中心陳悅婷

SEM拍攝照片--由學生拍攝交大李積琛實驗室_氧化鈰奈米方塊國立交通大學奈米中心陳悅婷

SEM拍攝照片--由學生拍攝清大_銅材料國立交通大學奈米中心陳悅婷

清大_INVERSE OPAL_應用於光子晶體 SEM拍攝照片--由學生拍攝清大_INVERSE OPAL_應用於光子晶體國立交通大學奈米中心陳悅婷

SEM拍攝照片--由學生拍攝清大_動機奈米線寬國立交通大學奈米中心陳悅婷

SEM拍攝照片--由學生拍攝清大_AAO表面分析國立交通大學奈米中心陳悅婷

SEM拍攝照片--由學生拍攝清大_鍍鈦表面分析國立交通大學奈米中心陳悅婷

成大_氮化鎵表面粗化處理_於藍光LED上使用 SEM拍攝照片--由學生拍攝成大_氮化鎵表面粗化處理_於藍光LED上使用國立交通大學奈米中心陳悅婷

SEM拍攝照片--由學生拍攝成大_低溫成長氧化物奈米線國立交通大學奈米中心陳悅婷

SEM拍攝照片--由學生拍攝中原大學_尼龍膜國立交通大學奈米中心陳悅婷

用PECVD鍍膜在Pet膜上做阻氣層(包裝材) SEM拍攝照片--由學生拍攝中原化工所Plasma實驗室_ 用PECVD鍍膜在Pet膜上做阻氣層(包裝材) 國立交通大學奈米中心陳悅婷

SEM拍攝照片--由學生拍攝工研院化工所_纖維(布料) 國立交通大學奈米中心陳悅婷

結論交通大學奈米中心之掃描式電子顯微鏡是一台性能很好的SEM，請各位同學愛惜使用! 國立交通大學奈米中心陳悅婷