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© 2007 Saint Island International Patent & Law Office. All Rights Reserved. 專業誠信 1 歐洲、美國、日本及世界智慧財產組織等專利資料庫之介紹林秋伶.

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ME587R 微影技術概論志聖工業高啟清博士 Charles Kao, Ph.D Tel: 02-2601-0700 志聖工業高啟清博士 Charles Kao, Ph.D Tel: 02-2601-0700 Mobile: 0939-268-725 cckao@csun.com.tw 2007/2/27

高啟清 Charles Kao Ph.D 學歷：現任：專長： 2008 清華大學EMBA 1995 美國賓州州立大學機械系博士碩士 1985 台灣大學機械系學士 1981 師大附中 422班現任：志聖工業研發中心協理台灣電路板協會技術發展委員會委員專長：影像移轉製程及曝光設備,電漿蝕刻設備研發管理,行銷企劃自動控制,影像處理,系統分析 2007/2/27 2/12

課程目標學習在PCB, LCD, IC 製程中微影技術(曝光, 影像轉移)的基本概念研討微影(曝光)技術之相關材料,設備, 流程,控制方法及發展趨勢準備更進階的學習 2007/2/27 3/12

微影技術概論 – 課程進度 2007 Electronic industry development 2次 2/27, 3/6 Photolithography overview 2次 3/13, 3/20 Statistics for equipment development 1次 3/27, (4/3 清明停課) MLB & HDI PCB image transfer technology 3次 4/10, (4/17, 4/24期中考), 5/1, 5/8 LCD image transfer technology and trend 1次 5/15 IC lithography process & equipment 3次 5/22, 5/29, 6/5 IC,LCD,PCB technology roadmap & market trend 2次 6/12, (6/19端午), 6/26, (7/3 期末考結束) 2007/2/27 4/12

評量標準分組：研究所二人一組, 大學部四人一組上課心得報告七篇 30% 期中報告 30% 期末報告 30% 出席 10% 每組一份上課心得報告七篇 30% 每組一份 1~2頁期中報告 30% 每組一份，針對題目提出分析報告期末報告 30% 每人一份，自選微影相關主題出席 10% 2007/2/27 5/12

期中報告題目(2004) 光罩光阻曝光機 PCB 製造廠商找出光罩廠商三家, 列出其可製作光罩種類, 並提出規格比較表(最少六種) 找出在台灣的乾膜製造廠三家, 各找出其二種乾膜做說明, 並提出這六種乾膜規格比較表曝光機找出歐美日系曝光機廠商各一家,各找出其二種主要機種做說明, 並提出這六種機型規格比較表 PCB 製造廠商找出台灣前三十大PCB製造廠六家, 找出其產品發展Roadmap, 並提出這六家技術發展比較表 2007/2/27 6/12

期中報告題目(2006) 各位研發部的優秀工程師本公司將要導入BGA板內層2/2線路製程請評估線路製程上應要求的各項規格，並計算達成 2/2 規格可行性 2007/2/27 7/12

期中報告交卷方式,評分標準交卷方式評分標準: 由80分開始計算以Power point 檔交卷 e-mail到 cckao@csun.com.tw 註明王大明期中報告列出參考書目,文章,網站,… 評分標準: 由80分開始計算交期: 晚一天扣5分內容完整性需說明項目少一項扣5分說明完整的加分 1~5分 2007/2/27 8/12

期末報告題目(舉例) 主題：Lithography發展 (光罩,光阻,設備) 網站 193 nm ArF immersion lithography 157 nm F2 lithography E-Beam Lithography (EPL, SCALPEL,..) EUV lithography 其他怪招網站 www.semiconductorfabtech.com www.future-fab.com developer.intel.com/technology/itj/index.htm 2007/2/27 9/12

參考書目- PCB Coombs, Printed Circuits Handbook, 5th Ed., McGraw-Hill, 2001, ISBN: 0-07-135016-0. Dietz, Dry Film Photoresist Processing Technology, Electrochemical Pub., 2001, ISBN: 0-901150-39-8. 林定皓,多層與高密度電路板全覽,亞洲智識,2002. 林定皓,電子構裝載板技術, 台灣電路板協會, 2003. 林定皓,軟性電路板技術, 台灣電路板協會, 2003. 林定皓,電路板機械加工技術, 台灣電路板協會, 2004. 林定皓,高密度印刷電路板技術, 台灣電路板協會, 2004. 林定皓,電路板影像轉移技術, 台灣電路板協會, 2004. 林定皓, 2007/2/27 10/12

參考書目- FPD 顧鴻壽等, 光電平面面板顯示器基本概論, 高利圖書, 2004, ISBN: 986-412-001-8. 苗村省平, 液晶Display技術現況, 工業調查會, 2004, ISBN: 4-7693-1231-8. (日文) 2007/2/27 11/12

參考書目- IC Sheats, Smith, Microlithography-Science and Technology, Marcel Dekker, 1998, ISBN: 0-8247-9953-4. 蕭宏原著, 半導體製程技術導論, 台灣培生, 2003, ISBN:957-2054-84-8. 張勁燕, 半導體製程設備, 五南, 2002, ISBN:957-11-2566-0. 龍文安, 半導體微影技術, 五南, 2004, ISBN:957-11-3726-X. 岡崎信次等, 半導體微影技術現況, 工業調查會, 2003, ISBN: 4-7693-1224-5. (日文) Silverman, Intel Lithography Roadmap, Intel Technology Journal, Vol. 6 Issue 2, 2002 May, ISSN:1535766X. 2007/2/27 12/12