1 中華大學機械系奈米材料及微細加工實驗室 DEPARTMENT OF MECHANICAL ENGINEERING ， CHUNG HUA UNIVERSITY NANOMATERIALS AND MICRO-MACHINING LABORATORY 21/11/2005

Slides:

Advertisements

Similar presentations

資料蒐集的方法（三）：實驗法（實驗設計）（第七章）

Advertisements

光的反射、折射 n1n1 n2n2 法線反射定律折射定律. 光的折射方向與介質疏密 n1n1 n2n2 法線 n1n1 n2n2 n1n1 n2n2 相同介質密介質到疏介質疏介質到密介質.

尖端材料實驗室指導教授 : 廖義田博士研究生 : 潘保同,許方駿李孟峰,黃慈偉.

Chapter 10 馬可夫鏈緒言如果讀者仔細觀察日常生活中所發生的諸多事件，必然會發現有些事件的未來發展或演變與該事件現階段的狀況全然無關，這種事件稱為獨立試行過程 (process of independent trials) ；而另一些事件則會受到該事件現階段的狀況影響。

1 Chemical and Engineering Thermodynamics Chapter 2 Conservation of mass and energy Sandler.

第二章太陽能電池的基本原理及其結構 2-1 太陽能電池的基本原理 2-2 太陽能電池的基本結構 2-3 太陽能電池的製作.

Advanced Chemical Engineering Thermodynamics

McGraw-Hill/Irwin © 2003 The McGraw-Hill Companies, Inc.,All Rights Reserved. 參實驗法.

1 Advanced Chemical Engineering Thermodynamics Appendix BK The Generalized van der Waals Partition Function.

McGraw-Hill/Irwin © 2003 The McGraw-Hill Companies, Inc.,All Rights Reserved. 肆資料分析與表達.

1 真理大學運輸管理學系實務實習說明目錄  實務實習類別  實務實習條例  校外實習單位  實務實習成績計算方式  校外實習甄選 / 自洽申請流程  附錄：相關表格.

第 2 章致病機轉之原理藉由對疾病機轉的了解，以達到控制疾病的目的。. 第一節疾病的自然史與三段五級的預防疾病自然史所謂疾病自然史是指在未經治療處置下，疾病的自然演變過程。

太陽電池簡介. 光合作用 Type of cellEfficienciy (%)Characteristics SiliconCrystalline24high cost Multicrystalline18high cost Amorphous13medium cost, unstable CuInSe.

Section 2.3 Least-Squares Regression 最小平方迴歸

電流天平實驗目的：研究兩平行載流導線間的磁力原理：長直導線的磁場：真空中導磁常數.

高效率太陽能車指導教授 : 蔡志成, 王國禎組員 : 張友倫 ( ) 溫承豫 ( ) 溫承豫 ( ) 李志健 ( ) 李志健 ( ) 第十三週 (2005/5/18)

真理大學航空運輸管理學系實務實習說明. 實務實習部份實務實習校內實習校外實習實習時數必須在 300 小時 ( 含 ) 以上才承認校內實習時數及實習成績。二個寒假各一個月暑假兩個月.

STAT0_corr1 二變數的相關性  變數之間的關係是統計研究上的一大目標  討論二分類變數的相關性，以列聯表來表示  討論二連續隨機變數時，可以作 x-y 散佈圖觀察它們的關係強度  以相關係數來代表二者關係的強度.

Section 2.2 Correlation 相關係數. 散佈圖 1 散佈圖 2 散佈圖的盲點兩座標軸的刻度不同，散佈圖的外觀呈現的相聯性強度，會有不同的感受。散佈圖 2 相聯性看起來比散佈圖 1 來得強。以統計數字相關係數做為客觀標準。

McGraw-Hill/Irwin © 2003 The McGraw-Hill Companies, Inc.,All Rights Reserved. 肆資料分析與表達.

Department of Air-conditioning and Refrigeration Engineering/ National Taipei University of Technology 模糊控制設計使用 MATLAB 李達生.

液晶顯示控制器之研究謝曜式中華大學電機工程學系 Department of Electrical Engineering Chung-Hua University Hsinchu, Taiwan.

© The McGraw-Hill Companies, Inc., 2008 第 6 章製造流程的選擇與設計.

1 第四章多變數函數的微分學 § 4.1 偏導數定義定義極限值 ■. 2 定理極限值的基本定理 (1) 極限值的唯一性 : 若存在，則其值必為唯一。 (2) 若且 ( 與為常數 ) ，則且為常數且.

BEM 特論 - 第一次討論指導教授 : 陳正宗終身特聘教授指導學長 : 高聖凱、謝祥志、林羿州學生 : 吳建鋒日期 :2015/6/16 Fundamental Solution Green’s Function Green’s Theorem.

Wireless Protocol Bluetooth

國家地震工程研究中心 National Center for Research on Earthquake Engineering 1 國立台灣海洋大學河海工程學系耐震設計 ( 一 ) 結構之基本振動週期鍾立來.

Introduction to Chemical Engineering Thermodynamics

微帶線濾波器國立聯合大學電機工程學系主講人 : 徐振剛何奕叡. 目錄  設計程序理論說明  1. 微波諧振電路  2. 傳輸線特性  3.Chebyshev filter ＆ Butterworth filter  4. 傳輸線殘段設計濾波器和步階阻抗式低通濾波器  設計模型.

國立中央大學電機工程學系 99 學年度第 2 學期助教會議中央大學電機工程學系工程認證 1.

Chapter 20 塑模動態觀點：狀態圖 Statechart Diagram. 學習目標  說明狀態圖的目的  定義狀態圖的基本記號  展示狀態圖的建構  定義活動、內部事件及遞延事件的狀態圖記號.

Advanced Chemical Engineering Thermodynamics

報告人：莊潤郁日期： 2007 年 5 月 29 日嵌入氣靜壓軸承之氣壓伺服平台介紹控制組專題討論.

無塵室儀器介紹一、原子力顯微鏡 (Atomic Force Microscope) 二、 D.I Water 製造機三、曝光顯影機四、光學顯微鏡 OM 報告人彭中南.

Department of Air-conditioning and Refrigeration Engineering/ National Taipei University of Technology MATLAB 操作與系統動態模擬 SIMULINK 李達生.

7.1 背景介紹 7.2 多解析度擴展 7.3 一維小波轉換 7.4 快速小波轉換 7.5 二維小波轉換 7.6 小波封包

真理大學航空服務管理學系實務實習說明. 實務實習部份實務實習校內實習校外實習實習時數必須在 300 小時 ( 含 ) 以上才承認校內實習時數及實習成績。二個寒假各一個月暑假兩個月.

CH 15- 元件可靠度之驗證  驗證方法  指數模式之可靠度驗證  韋式模式之可靠度驗證  對數常態模式之可靠度驗證  失效數為零時之可靠度估算  各種失效模式之應用.

Fugacity Coefficient and Fugacity

Introduction to Chemical Engineering Thermodynamics

1 CHAOYANG UNIVERSITY OF TECHNOLOGY 朝陽科技大學研究發展處專案計畫審查辦法說明會報告人：洪處長弘祈.

生產系統導論生產系統簡介績效衡量現代工廠之特徵管理機能.

The application of boundary element evaluation on a silencer in the presence of a linear temperature gradient Boundary Element Method 期末報告指導老師：陳正宗終身特聘教授.

視覺媒體. 非放映性 ( 靜畫 ) 媒體非放映性靜畫裱褙的方式有那些？濕裱乾裱：利用乾裱機，乾裱襯紙裱褙所使用之黏貼材質之比較樹酯、膠水：黏貼之平整性差，圖片不可供再度利用口紅膠：黏貼之平整性佳，圖片不可供再度利用橡皮膠 Rubber Cement ：黏貼之平整性佳，圖片.

Feature Motion for Monocular Robot Navigation. 單視覺機器人 – 追蹤 (tracking) 最常見的機器人導航技術特徵點特性（特別匹配性抗破壞性）特徵點取得（區塊尺度不變）

位準量測量測槽或桶內物體之高度值直接式:日常生活中較常使用之方法推論式:較適合遠距離監測應用.

Section 4.2 Probability Models 機率模式. 由實驗看機率實驗前先列出所有可能的實驗結果。 – 擲銅板：正面或反面。 – 擲骰子： 1~6 點。 – 擲骰子兩顆： (1,1),(1,2),(1,3),… 等 36 種。決定每一個可能的實驗結果發生機率。 – 實驗後所有的實驗結果整理得到。

溶劑可以溶解反應物，形成均勻的反應系統；溶劑用來調整反應物的濃度與反應溫度，控制速率與方向；溶劑萃取，分離特定的化合物。溶劑，特別是有機溶劑，是環境污染的主要來源。綠色（永續）化學逐漸形成一種新的科學理念。溶劑的選擇與化學反應的設計，必須加上環境因素的考量。化學家已發展出許多有機溶劑替代液體及綠色的合成方法：

第三章太陽能電池的材料種類及其物性 3-1 太陽能電池的材料種類 3-2 太陽能電池的元件種類 3-3 太陽能電池的基本物性.

Chapter 3 Entropy : An Additional Balance Equation

廣電新聞播報品質電腦化評估系統之研發國立政治大學資訊科學系指導教授：廖文宏學生：蘇以暄.

網路介紹及其運用講師陳炯勳. 5-2 IP 協定 ( 一 ) IP 協定運作 (1) – 網路成員：主機 (Host) 與路由器 (Router) – 路由表 – 電報傳輸運作.

二氧化碳滅火設備（補充教材）一、設備概說　(一) 特性.

資訊教育吳桂光東海大學物理系助理教授 Tel: 3467 Office: ST223 Office hour: Tue, Fri. (10-11am)

史特靈引擎 (Srirling Engine) - 火力發電的重要裝置之一 1816 年，由蘇格蘭 Robert Stirling 科學家所發明，此引擎的開發帶動了工業革命的發展。史特靈引擎：利用氣體的熱漲冷縮原理，帶動轉動軸轉動的裝置。為火力發電系統中一個關鍵性的重要裝置。

McGraw-Hill/Irwin © 2003 The McGraw-Hill Companies, Inc.,All Rights Reserved. 壹企業研究導論.

指導教授 : 林啟芳教授組員 : 邱秉良林育賢. 何謂 GPS  GPS 即全球定位系統，是一個中距離圓型軌道衛星導航系統。它可以為地球表面絕大部分地區（ 98% ）提供準確的定位、測速和高精度的時間標準。

電機工程系選課輔導說明會. 選課輔導說明會宗旨電機系自 95 年開始，同步進行『工程教育認證』以及『系科本位課程』兩大與學生課程相關的認證計畫。電機系自 95 年開始，同步進行『工程教育認證』以及『系科本位課程』兩大與學生課程相關的認證計畫。本系每年至少一次的系教育諮詢委員會，廣邀產業界、學界、家長、畢業生、在校.

全國奈米科技人才培育推動計畫辦公室中北區奈米科技Ｋ -12 教育發展中心計畫簡報報告人：楊鏡堂教授計畫執行單位：國立清華大學動力機械工程學系計畫種子學校：教育部顧問室 94 年度奈米科技人才培育先導型計畫年度成果報告中華民國九十四年十月十四日.

1 非線性液流阻尼器行為分析非線性液流阻尼器行為分析侯建元致遠管理學院營建管理學系結構防振液流阻尼器之研發製造及應用研討會 ( )

1 寬頻分碼多重進接無線通訊上鏈傳收系統之設計與製作 Transceiver System Design and Implementation for WCDMA Uplink Communication 國科會計畫 (1999/8 – 2002/7) 簡介 2004/1.

第五章IIR數位濾波器設計濾波器的功能乃對於數位信號進行處理﹐ 以滿足系統的需求規格。其作法為設計一個系統的轉移函數﹐或者差分方程式﹐使其頻率響應落在規格的範圍內。本章探討的是其中一種方法﹐稱為Infinite impulse register(IIR)。 IIR架構說明。各種不同頻帶(Band)濾波器的設計方法。

實驗上如何產生玻愛凝聚. 如何致冷 ? 雷射冷卻及蒸發冷卻雷射為甚麼可以致冷 ? E2E2 E1E1 p=kp=k E2E2 E1E1 p=kp=k E2E2 E1E1 原子 E=E=

6 彩色影像處理 6.1 色彩基礎 6.2 色彩模式 6.3 假彩色影像處理 6.4 全彩色影像處理基本原理 6.5 色彩轉換

1 Chemical and Engineering Thermodynamics Chapter 1 Introduction Sandler.

第 1 章 PC 的基本構造. 本章提要 PC 系統簡介 80x86 系列 CPU 及其暫存器群記憶體： Memory 80x86 的分節式記憶體管理 80x86 的 I/O 結構學習組合語言的基本工具.

MCPD (Multi Channel Photo Detector)

微分器與積分器類比電子實驗單元二教材投影片放在

1-4 熱膨脹 Thermal expansion.

Presentation transcript:

1 中華大學機械系奈米材料及微細加工實驗室 DEPARTMENT OF MECHANICAL ENGINEERING ， CHUNG HUA UNIVERSITY NANOMATERIALS AND MICRO-MACHINING LABORATORY 21/11/2005 熱機拋光鑽石膜之設備及方法發明人：馬廣仁博士趙崇禮博士林宏彝博士專利類型：發明公告日期： 2005/02/01 國際專利分類號： B24B 49/00 ； B24B 51/00 專利法定起日： 2005/02/ /12/25 專利公告號：； US 6,739,946 B1 中華大學第二屆研發成果發表及推廣說明會

2 中華大學機械系奈米材料及微細加工實驗室 DEPARTMENT OF MECHANICAL ENGINEERING ， CHUNG HUA UNIVERSITY NANOMATERIALS AND MICRO-MACHINING LABORATORY 21/11/2005 鑽石與鑽石膜

3 中華大學機械系奈米材料及微細加工實驗室 DEPARTMENT OF MECHANICAL ENGINEERING ， CHUNG HUA UNIVERSITY NANOMATERIALS AND MICRO-MACHINING LABORATORY 21/11/2005 應用領域應用實例表面拋光需求切削刀片、鑽頭、外科手術刀、線鋸、砂輪光滑之表面抗磨耗軸承、噴嘴、氣閥、硬碟鍍膜、電極鍍膜光滑之表面抗沾粘奈微米模具、生物晶片光滑之表面聲波傳遞揚聲器、高頻濾波器超光滑之表面防擴散、腐蝕坩堝、光纖披覆層、反應容器光滑之表面光學 X 光視窗、 UV~IR 視窗、抗反射鍍層、雷達罩超光滑之表面光電 X 光偵測器、光開關超光滑之表面熱力工程 IC 及雷射之散熱片光滑之表面半導體電晶體、微波元件、紫外線感測器超光滑之表面電子裝置冷陰極場發射器、壓力規光滑之表面 CVD 鑽石膜之各項應用與表面拋光之需求

4 中華大學機械系奈米材料及微細加工實驗室 DEPARTMENT OF MECHANICAL ENGINEERING ， CHUNG HUA UNIVERSITY NANOMATERIALS AND MICRO-MACHINING LABORATORY 21/11/2005 鑽石膜之應用

5 中華大學機械系奈米材料及微細加工實驗室 DEPARTMENT OF MECHANICAL ENGINEERING ， CHUNG HUA UNIVERSITY NANOMATERIALS AND MICRO-MACHINING LABORATORY 21/11/2005 Diamond SAW Filters Substrate (m/s)Velocity(m/s)Freq. IDT linewidth (  LiTaO MHz0.33 LiNbO MHz0.35 Quartz MHz0.32 ZnO/Glass MHz0.32 ZnO/Sapphire GHz0.55 ZnO/Diamond GHz1.0

6 中華大學機械系奈米材料及微細加工實驗室 DEPARTMENT OF MECHANICAL ENGINEERING ， CHUNG HUA UNIVERSITY NANOMATERIALS AND MICRO-MACHINING LABORATORY 21/11/2005 RF SAW Filters From Fujitsu Media Devices Ltd

7 中華大學機械系奈米材料及微細加工實驗室 DEPARTMENT OF MECHANICAL ENGINEERING ， CHUNG HUA UNIVERSITY NANOMATERIALS AND MICRO-MACHINING LABORATORY 21/11/2005 X-ray, UV, IR Diamond Windows and Diamond Filters

8 中華大學機械系奈米材料及微細加工實驗室 DEPARTMENT OF MECHANICAL ENGINEERING ， CHUNG HUA UNIVERSITY NANOMATERIALS AND MICRO-MACHINING LABORATORY 21/11/2005 成長鑽石膜方法之比較

9 中華大學機械系奈米材料及微細加工實驗室 DEPARTMENT OF MECHANICAL ENGINEERING ， CHUNG HUA UNIVERSITY NANOMATERIALS AND MICRO-MACHINING LABORATORY 21/11/2005 鑽石膜之表面形貌 MWCVD Hot filament

10 中華大學機械系奈米材料及微細加工實驗室 DEPARTMENT OF MECHANICAL ENGINEERING ， CHUNG HUA UNIVERSITY NANOMATERIALS AND MICRO-MACHINING LABORATORY 21/11/2005 各式鑽石膜拋光方式之比較方式處理溫度拋光機制加工形狀限制加工尺寸限制特殊需求機台設置自由度加工大尺寸工件費用處理時間 /cm 2 完成之粗度參數自由度殘留污染設備成本機械式拋光室溫磨粒磨耗平面為主無無較低低數十小時 4.6nm 低無低~高低~高熱化學式拋光 800~ 900° C 石墨化與擴散平面為主加熱平台大小須環境控制較低低數十分鐘 5.5nm 低無相較偏低化學輔助機械拋光 >350 °C 氧化平面為主加熱平台大小無較低低數小時 49nm 低有相較偏低雷射室溫石墨化與氣化允許非平面無須掃描工件較高高數分鐘 27nm 高有高離子束室溫濺射蝕刻允許非平面離子束大小須真空設備低高十數小時 5nm 低有高電漿 700° C 濺射蝕刻允許非平面電漿尺寸須真空設備低高數小時 71nm 高有高

11 中華大學機械系奈米材料及微細加工實驗室 DEPARTMENT OF MECHANICAL ENGINEERING ， CHUNG HUA UNIVERSITY NANOMATERIALS AND MICRO-MACHINING LABORATORY 21/11/2005 傳統熱機拋光鑽石膜之設備示意圖

12 中華大學機械系奈米材料及微細加工實驗室 DEPARTMENT OF MECHANICAL ENGINEERING ， CHUNG HUA UNIVERSITY NANOMATERIALS AND MICRO-MACHINING LABORATORY 21/11/2005 Schematic representation of the setup for hot polishing experiments

13 中華大學機械系奈米材料及微細加工實驗室 DEPARTMENT OF MECHANICAL ENGINEERING ， CHUNG HUA UNIVERSITY NANOMATERIALS AND MICRO-MACHINING LABORATORY 21/11/2005 專利特點一、提供一種具有高拋光速率的熱機拋光鑽石膜之設備及方法。二、提供一種低成本的熱機拋光鑽石膜之設備及方法。三、提供一種易於維護與更替的熱機拋光鑽石膜之設備及方法。

14 中華大學機械系奈米材料及微細加工實驗室 DEPARTMENT OF MECHANICAL ENGINEERING ， CHUNG HUA UNIVERSITY NANOMATERIALS AND MICRO-MACHINING LABORATORY 21/11/2005 本發明所提供之熱機拋光鑽石膜之設備及方法，係包括：可高速轉動的第一轉軸，其圓周表面係為一可於高溫下與鑽石進行化學反應之材料，且該圓周表面上係定義有一預定加熱區；可高速轉動且軸向移動的第二轉軸，係與該第一轉軸成軸向垂直之配置，且該第二轉軸之一端係具有一可用以承載鑽石膜工件的軸向承載座；以及可用以加熱該第一轉軸圓周表面上之預定加熱區的加熱單元，以令該第二轉軸朝該第一轉軸進行軸向移動時，其承載座上之鑽石膜工件可與該已加熱之預定加熱區接觸，以使該工件上之鑽石膜表面可與該第一轉軸之圓周表面材料產生化學反應以進行熱機拋光。於拋光過程中，令該第二轉軸進行一適當的軸向進給，以維持該鑽石膜表面與該預定加熱區的適當接觸；以及當該鑽石膜之表面拋光至可接受的表面平整度時，即結束拋光。專利內容說明

15 中華大學機械系奈米材料及微細加工實驗室 DEPARTMENT OF MECHANICAL ENGINEERING ， CHUNG HUA UNIVERSITY NANOMATERIALS AND MICRO-MACHINING LABORATORY 21/11/2005 熱機拋光鑽石膜方法的流程圖

16 中華大學機械系奈米材料及微細加工實驗室 DEPARTMENT OF MECHANICAL ENGINEERING ， CHUNG HUA UNIVERSITY NANOMATERIALS AND MICRO-MACHINING LABORATORY 21/11/2005 鑽石膜於拋光過程中之接觸表面放大示意圖

17 中華大學機械系奈米材料及微細加工實驗室 DEPARTMENT OF MECHANICAL ENGINEERING ， CHUNG HUA UNIVERSITY NANOMATERIALS AND MICRO-MACHINING LABORATORY 21/11/2005 拋光參數對表面形貌之影響 100 rpm/10min-0.39m/s 330 rpm/10min-1.28m/s 900 rpm/5min-3.49m/s900 rpm/15min-3.49m/s

18 中華大學機械系奈米材料及微細加工實驗室 DEPARTMENT OF MECHANICAL ENGINEERING ， CHUNG HUA UNIVERSITY NANOMATERIALS AND MICRO-MACHINING LABORATORY 21/11/2005 熱機拋光鑽石膜後表面成份分析

19 中華大學機械系奈米材料及微細加工實驗室 DEPARTMENT OF MECHANICAL ENGINEERING ， CHUNG HUA UNIVERSITY NANOMATERIALS AND MICRO-MACHINING LABORATORY 21/11/2005 熱機拋光鑽石膜的拋光速率

20 中華大學機械系奈米材料及微細加工實驗室 DEPARTMENT OF MECHANICAL ENGINEERING ， CHUNG HUA UNIVERSITY NANOMATERIALS AND MICRO-MACHINING LABORATORY 21/11/2005 熱機拋光鑽石膜表面形貌隨時間變化情形

21 中華大學機械系奈米材料及微細加工實驗室 DEPARTMENT OF MECHANICAL ENGINEERING ， CHUNG HUA UNIVERSITY NANOMATERIALS AND MICRO-MACHINING LABORATORY 21/11/2005 準分子雷射拋光鑽石膜之表面形貌 (380mJ) 2Hz, 3000 shots As grown

22 中華大學機械系奈米材料及微細加工實驗室 DEPARTMENT OF MECHANICAL ENGINEERING ， CHUNG HUA UNIVERSITY NANOMATERIALS AND MICRO-MACHINING LABORATORY 21/11/2005 準分子雷射拋光鑽石膜之表面形貌 ( 380mJ ） 10Hz, 5000 shots 10Hz, 4000 shots

23 中華大學機械系奈米材料及微細加工實驗室 DEPARTMENT OF MECHANICAL ENGINEERING ， CHUNG HUA UNIVERSITY NANOMATERIALS AND MICRO-MACHINING LABORATORY 21/11/2005 Thank You !