1. Mem’s Type

2. 8” 1-TD MEMS PROBE CARD

3. MEMS PROBE CARD
Interface Pin
Decoupling
Capacitors
PCB
Space Transformer
Micro Probes
Planarization
Mechanism
* Space Transformer (MPH=Micro Probe Head) 가. 좁은 공간에서 넓은 공간으로 electrical path 공간 변환 나. 프로브를 통하여 전원 및 신호를 PCB로 상호 전달 다. 뛰어난 기계적 강도 및 내화학성 요구

4. E. PR Stripping & Removing Seed Layer
MEMS PROBE 주요 공정도
A. Oxidation
B. ICP RIE & KOH
D. Electroplating
E. PR Stripping & Removing Seed Layer
C. Seed Layer & Thick PR
F. Solder Paste
H. Si Removal & Cleaning
G. Bonding
Wafer 공정
Space Transformer 공정

5. MEMS PROBE & TIP
Micro Probe Array
Micro Tip SEM 사진

6. Cantilever Type

7. 제품 사진
LDI 제품 사진
Logic 제품 사진

8. Needle 확대 사진