1. Canaux: 62 x 44 mm Manifold: 62 x 1.6 (le même que pour les tests en pression) Inlet: diam. 1.4 (au milieu du bord du rectangle, au sommet) Sensor + R/O chips 60 42 beam 27 Tentative dicing lines (62 x 76)

2. Pressure drop in 1 channel (100 x 100 µm): 1.4 bar Fin width 25 µm

3. Pressure drop in 1 channel (100 x 100 µm): 2.3 bar Fin width 100 µm

4. Geometry chosen Channel 100 x 100 µm Fin width 100 µm Manifold depth 280 µm

5. http://indico.cern.ch/getFile.py/access?contri bId=5&resId=1&materialId=slides&confId=105 148

6. Thinning… Adapt Nanoport position for thinning.