1. שיקוע מפאזה גזית בעזרת פלזמה - PECVD שיקוע מבודדים ומוליכים ליצירת חיבורי ביניים בסיוע פלזמה פרופ ’ יוסי שחם המחלקה לאלקטרוניקה פיזיקלית, אונ ’ ת ” א.

2. מערכות לייצור פלזמה

3. מערכת פלזמה DC

5. Current to the anode Paschen’s law:  -Townsand coefficient Where I c is the electron Cathodic current is the collision mean free path, E the electric field, and V i is the effective ionization potential

6. מתח התפרקות באוויר

10. RF פלזמה

11. פילוג האנרגיות בפלזמה אנרגיה [KeV]

12. תרומת ינון מישני לפלזמה

13. הפעלת שדה AC ביצירת פלזמה

14. טכנולוגית פלזמה (I)

15. בניית פלזמה גזית בין לוחות

16. Magnetic enhancement

17. השפעת ממדי האלקטרודות

18. פוטנציאל האלקטרודה בתא אסימטרי

21. יחס המתחים הפוך ליחס שטחי האלקטרודות

24. פלזמה במגנטרון חלול ( HCM )

25. האיכול יכול להיעשות ע ” י יונים, רדיקלים נייטרלים ומולקולות נייטרליות

26. אלקטרונים מוחזרים ממחסום הפוטנציאל

27. מערכת פלזמה כנגד RIE

28. מערכת עם שני תדרים

29. ריאקציה בשיווי משקל

30. ריאקציות יכולות לאכל ולשקע

31. לחצים חלקים של גזים טיפוסיים

32. תכנון שיקוע סלקטיבי

33. שינוי באנרגיה החופשית

34. שיקוע מפלזמה בריכוז גבוה (HDP)

35. קצב השיקוע והאיכול יחסי לזווית הפגיעה של ה - PRECURSORS

36. התקדמות פני השטח בתהליך HDP שיקוע מהיר איכול איטי איכול מהיר שיקוע איטי איכול ושיקוע איטיים

37. ריאקטור HDP

38. נזק ע ” י פלזמה

39. סיכום שיקוע ע ” י פלזמה מהיר, איכות טובה כמו CVD ניצול תכונות הפלזמה לשיפור הפלנריזציה וכיסוי מדרגה